Турбомолекулярные вакуумные насосы НВТ-100
Насосы турбомолекулярные вакуумные НВТ-100 предназначены для откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), за исключением углеводородов, агрессивных газов, паров и их смесей, воздействующих на конструкционные материалы насосов, создания высокого и сверхвысокого вакуума.
- физика поверхности и газовый анализ, производство электровакуумных приборов;
- течеискание, производство полупроводников;
- создание безмасляного форвакуума для электрофизических средств откачки – магниторазрядных, испарительных (геттерных) и криогенных насосов, комбинированных (ионно-геттерных) насосов, постов, агрегатов и т.д.
Насосы поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Для эксплуатации турбомолекулярного насоса НВТ-100 необходима форвакуумная система. Питание турбомолекулярных вакуумных насосов осуществляется от специального блока питания (в дальнейшем – БПТ), не входящего в комплект поставки насоса.
ПРИМЕЧАНИЕ: Блоки питания турбомолекулярных насосов БПТ поставляются по отдельному заказу, совместно с насосом или отдельно. Основные технические характеристики насосов приведены в таблице ниже. Конструкция и основные размеры ответных фланцев турбомолекулярных насосов даны в приложении. Основные характеристики блоков питания БПТ, рекомендуемых для питания насосов, приведены на странице сводных характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов.
Технические характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов НВТ-100
Техническая характеристика |
НВТ-100 ФР |
НВТ-100 ФО |
НВТ-100 ФГ |
Быстрота действий насоса по воздуху (без защитной сетки на входе) в диапазоне давлений 1*10-2 - 1*10-4 Па, ± 20%, не менее, л/с |
100 |
100 |
100 |
Предельное остаточное давление насоса (при выпускном давлении не более 6 Па), Па |
1*10-5 |
1*10-6 |
1*10-6 |
Время разгона, мин |
7 |
7 |
7 |
Частота вращения, с-1 |
466±5 |
466±5 |
466±5 |
Общие уровни виброускорений, замеренные в горизонтальной плоскости впускного фланца насоса, в установившемся режиме, не более, дБ |
90 |
90 |
90 |
Охлаждение |
воздушное |
воздушное |
воздушное |
Вид смазки |
консистентная |
консистентная |
консистентная |
Максимальная температура прогрева входного фланца насоса, °С |
45 |
45 |
45 |
Ответный входной (высоковакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец опорный 100
РД 11 868.006 |
Фланец с зубом 100
ОСТ 11 868.007 |
Фланец Ду-100
ГОСТ 26525 |
Ответный выпускной (форвакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Габаритные размеры, не более, мм* |
180 х 180 х 200 |
200 х 200 х 210 |
152 х 152 х 215 |
Масса, не более, кг* |
6 |
9 |
8 |
Рекомендуемый БПТ |
БПТ-100 |
БПТ-100 |
БПТ-100 |
Максимальная потребляемая БПТ мощность, не более, В*А |
100 |
100 |
100 |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
Наша фирма ООО "Призма" имеет возможность по ТЗ заказчика разработать и изготовить вакуумные насосы и системы по аналогии сходные с имеющимися, но с другими параметрами.