Сводные характеристики вакуумных магниторазрядных насосов

Выписка из технических условий ТУ-3648-002-42186869-2003

Насосы магниторазрядные типов НМД, НМДИ, НМДО предназначены для безмасляной откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), за исключением углеводородов, агрессивных газов, паров и их смесей, воздействующих на конструкционные материалы насоса.

Насосы поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Питание осуществляется от специального блока питания, поставляемого по отдельному заказу.

Примеры условного обозначения при заказе вакуумного магниторазрядного насоса:
- насоса с наибольшей быстротой действия 6,3 л/с с присоединительным фланцем корпуса насоса Dу-25 по ОСТ 11 868.007, без блока питания насоса : "Насос НМД-0,0063 ТУ-3648-002-42186869-2003, ФО-25, без БП";
- насоса с наибольшей быстротой действия 16 л/с с присоединительным фланцем корпуса насоса Dу-40 по ГОСТ 26526, без блока питания насоса : "Насос НМД-0,016 ТУ-3648-002-42186869-2003, ФГ-40, без БП";
- насоса с наибольшей быстротой действия 250 л/с, с повышенной быстротой действия при откачке инертных газов, с присоединительным фланцем корпуса насоса Dу-160 по ОСТ 11 868.007, с блоком питания насоса БПМ-0,25 : "Насос НМДИ-0,25 ТУ-3648-002-42186869-2003, ФО-160, с блоком питания БПМ-0,25".
- при заказе блока питания следует указать вакуумный магниторазрядный насос, с которым БП будет работать (у разных насосов различные типы высоковольтных разъемов).

Основные технические параметры вакуумных магниторазрядных насосов

- наибольшая быстрота действия магниторазрядных вакуумных насосов по азоту (по аргону) в одной из точек диапазона давлений от 1,0*10-3 до 1,0*10-7 Па (от ~1,0*10-5 до
~1,0*10-9 мм рт. ст.) и предельное остаточное давление указаны в табл.1;

- габаритные размеры и масса насосов указаны в табл.2;

- наибольшее давление запуска насосов 1 Па (~1,0*10-2 мм рт.ст.);

- наибольшее рабочее давление насосов 2,0*10-3 Па (~2,0*10-5 мм рт.ст.).

Гарантии изготовителя насосов

Изготовитель гарантирует работоспособность вакуумных магниторазрядных насосов при соблюдении условий транспортирования, монтажа, хранения и эксплуатации оборудования. Гарантийный срок эксплуатации составляет 12 месяцев со дня ввода в эксплуатацию, но не более 18 месяцев со дня отгрузки насоса потребителю, при этом работа насоса при давлении большем 1,0*10-4 Па ( ~1,0*10-6 мм рт.ст.) должна составлять не более 5 % общего времени.

Указания по эксплуатации вакуумных насосов

Лица, эксплуатирующие вакуумные насосы, должны быть ознакомлены с особенностями эксплуатации насосов, оборудования и приборов, совместно с которыми работают насосы, пройти обучение работе с насосом и выполнить другие требования, изложенные в паспорте изделия.

Насосы эксплуатируются в составе вакуумной установки с безмасляным средством предварительной откачки, которое обеспечивает откачку насоса до давления его запуска.

Для нормальной работы насосов необходимо, чтобы (после монтажа) насос и часть вакуумной системы установки, к которой присоединен насос, были подвергнуты обезгаживающему прогреву (при снятой магнитной системе насоса), при этом вакуумная система должна откачиваться безмасляным средством предварительной откачки.

Для питания насосов следует применять специальные блоки питания. Краткие ориентировочные характеристики блоков питания и другие справочные данные приведены в табл.3...5.

Таблица 1
Тип насоса
Наибольшая быстрота действия, л/с ± 20%
Предельное остаточное давление, Па
По азоту
По аргону
 
     
НМД-0,0063
6
-
6,0*10-7
НМДИ-0,0063
5
1
6,0*10-7
НМД-0,16
16
-
4,0*10-7
НМДИ-0,016
12
3
4,0*10-7
НМД-0,025
25
-
2,0*10-7
НМДИ-0,025
20
5
2,0*10-7
НМД-0,063
60
-
8,0*10-8
НМДИ-0,063
50
10
8,0*10-8
НМД-0,1
100
-
6,0*10-8
НМДИ-0,1
80
20
6,0*10-8
НМДО-0,1
100
-
6,0*10-7
НМДОИ-0,1
100
20
6,0*10-7
НМД-0,16
130
-
6,0*10-8
НМДИ-0,16
100
25
6,0*10-8
НМД-0,25
250
-
5,0*10-8
НМДИ-0,25
200
40
5,0*10-8
НМДО-0,25
250
-
6,0*10-7
НМД-0,4
400
-
5,0*10-8
НМДИ-0,4
320
60
5,0*10-8
НМД-0,63
750
-
4,0*10-8
НМДИ-0,63
600
100
4,0*10-8
НМД-1
1200
-
4,0*10-8
НМДИ-1
1000
160
4,0*10-8
Таблица 2
Тип насоса
Dу, мм
Габаритные размеры (+5 max), мм
Масса (+5%), кг
Длина (глубина)
Ширина
Высота
           
НМД-0,0063 ФО
25
85
85
160
3,55
НМДИ-0,0063 ФО
25
85
85
160
3,55
НМД-0,016 ФО
40
110
110
200
6
НМДИ-0,016 ФО
40
110
110
200
6
НМД-0,016 ФГ
40 (35)
90
90
200
6
НМДИ-0,016 ФГ
40 (35)
90
90
200
6
НМД-0,025 ФО
100
200
200
240
8,5
НМДИ-0,025 ФО
100
200
200
240
8,5
НМД-0,025 ФГ
100
180
180
250
8,5
НМДИ-0,025 ФГ
100
180
180
250
8,5
НМД-0,063 ФО
100
320
200
325
23
НМДИ-0,063 ФО
100
320
200
325
23
НМД-0,063 ФГ
100
320
160
335
23
НМДИ-0,063 ФГ
100
320
160
335
23
НМД-0,1 ФО
100
320
200
325
32,5
НМДИ-0,1 ФО
100
320
200
325
32,5
НМД-0,1 ФГ
100
320
180
335
32,5
НМДИ-0,1 ФГ
100
320
180
335
32,5
НМДО-0,1 ФО
100
400
200
390
80
НМДОИ-0,1 ФО
100
400
200
390
80
НМД-0,16 ФО
100 (115)
400
200
325
42
НМДИ-0,16 ФО
100 (115)
400
200
325
42
НМД-0,25 ФО
160
320
340
340
53
НМДИ-0,25 ФО
160
320
340
340
53
НМД-0,25 ФГ
160 (150)
320
340
350
53
НМДИ-0,25 ФГ
160 (150)
320
340
350
53
НМДО-0,25 ФО
160
470
280
570
120
НМДО-0,25 ФГ
160
440
260
580
120
НМД-0,4 ФО
160
400
480
325
95
НМДИ-0,4 ФО
160
400
480
325
95
НМД-0,4 ФГ
160 (150)
400
480
335
95
НМДИ-0,4 ФГ
160 (150)
400
480
335
95
НМД-0,63 ФО
250
560
410
580
200
НМДИ-0,63 ФО
250
560
410
580
200
НМД-0,63 ФГ
250
560
380
590
200
НМДИ-0,63 ФГ
250
560
380
590
200
НМД-1 ФО
250
560
580
580
280
НМДИ-1 ФО
250
560
580
580
280
НМД-1 ФГ
250
560
580
590
280
НМДИ-1 ФГ
250
560
580
590
280

Блоки питания вакуумных магниторазрядных насосов

Блоки питания типа БПМ

Рекомендуемые нами блоки питания вакуумных магниторазрядных насосов типа БПМ, по сравнению со старыми БП, имеют следующие преимущества:

- значительно меньшие масса и габаритные размеры;

- значительно меньшая потребляемая мощность;

- более удобная и безопасная эксплуатация. На световом табло одновременно высвечиваются значения выдаваемых силы тока и напряжения, отсутствуют стрелочные приборы измерения тока/напряжения и переключатель шкал тока/напряжения;

- имеется два режима работы : режим номинальной мощности и режим повышенной мощности. В основном режиме работы блок питания БПМ выдает ток с номинальным значением мощности, которое является основной характеристикой. Режим повышенной мощности работы БПМ является вспомогательным. Режим может использоваться кратковременно - при запуске насоса в работу или при работе при повышенном давлении откачки. Блок питания БПМ через заданное время автоматически переключается из режима повышенной мощности в режим номинальной мощности.

Таблица 3
Тип блока питания
Габаритные размеры, мм
Масса, кг
Длина
Ширина
Высота
         
БПМ-0,025
540
240
160
10
БПМ-0,25
540
485
145
15
Таблица 4
Тип насоса
Рекомендуемые максимальные значения потребляемого насосом тока при длительной работе
Блоки питания, рекоменд. для питания насосов
Мощность (±20%), Вт
ток (±10%),мА
Напряжение (±10%), кВ
         
НМД-0,0063
9
100
6,3...7
БПМ-0,025
НМДИ-0,0063
9
100
6,3...7
БПМ-0,025
НМД-0,016
14
100
6,3...7
БПМ-0,025
НМДИ-0,016
14
100
6,3...7
БПМ-0,025
НМД-0,025
30
200
6,3...7
БПМ-0,025
НМДИ-0,025
30
200
6,3...7
БПМ-0,025
НМД-0,063
90
400
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,063
90
400
6,3...7
БПМ-0,25
НМД-0,1
110
400
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,1
110
400
6,3...7
БПМ-0,25
НМДО-0,1
110
400
6,3...7
БПМ-0,25мс
НМДОИ-0,1
110
400
6,3...7
БПМ-0,25мс
НМД-0,16
130
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,16
130
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМД-0,25
160
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,25
160
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМДО-0,25
160
800
6,3...7
БПМ-0,25мс
НМД-0,4
230
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,4
230
800
6,3...7
БПМ-0,25
НМД-0,63
400
1000
6,3...7
БПМ-0,25
НМДИ-0,63
400
1000
6,3...7
БПМ-0,25
НМД-1
500
2 х 1000
6,3...7
БПМ-0,25 2 шт.
НМДИ-1
500
2 х 1000
6,3...7
БПМ-0,25 2 шт.
Таблица 5
Тип блока питания Максимальная потребляемая мощность (±20%), Вт Максимальное значение выдаваемого тока :
Режим номин. мощности Режим повыш. мощности Режим холостого хода Мощность (±20%), Вт Ток (±10%), мА Напря-жение (±10%), кВ
Режим номин. мощности Режим повыш. мощности
               
БПМ-0,025 300 600 120 40 160 250 6,3
БПМ-0,25 500 2000 200 250 1000 1000 6,3

Универсальные блоки питания типа ВАК 1200

Универсальный Блок питания магниторазрядного насоса ВАК 1200 (БПМН) предназначен для электропитания насосов магниторазрядных диодных типа НМД-1, НМД-0,63, НМД-0,4, НМД-0,25, НМД-016, НМД-0,1, НМД-0,063, НМД-0,025, НМД-0,016 или аналогичных им.

Благодаря микроконтроллерному управлению с возможностью выбора уровня ограничения выходного тока в зависимости от выходного напряжения, большой выходной мощности БПМН он может быть оптимально согласован с магниторазрядными насосами типа НМД различной производительности и остаточного ресурса работы.

 

- входное напряжение: ~220В +10/-30%, 50Гц;

- ток потребления, не более: 6А;

- коэффициент мощности, не менее: 0,95;

- полярность выходного напряжения - положительная;

- ток короткого замыкания, регулируемый: 0 - 1000 мА;

- максимальное выходное напряжение, регулируемое: 3,5 - 7,0 кВ;

- максимальная мощность в нагрузке: 1000 Вт;

- регулируемый выходной ток при выходном напряжении (экстраполяция между контрольными точками линейная по мощности):
      0 - 1000 мА при Uвых = 500 В,
      0 - 1000 мА при Uвых = 1,0 кВ,
      0 - 500 мА при Uвых = 2,0 кВ,
      0 - 350 мА при Uвых = 2,8 кВ,
      0 - 120 мА при Uвых = 3,0 кВ,
      0 - 70 мА при Uвых = 5,0 кВ,
      0 - 30 мА при Uвых = 7,0 кВ;

- цифровая индикация выходного тока, выходного напряжения, температуры радиатора преобразователя или уровня срабатывания защиты от ухудшения вакуума (по току нагрузки);

- минимальный измеряемый ток: 100нА;

- продолжительность непрерывной работы: не ограничена;

- габаритные размеры: 19", 3U, 485х135х385 мм3;

- масса, не более: 11 кГ.

В комплект поставки входят: БПМН ВАК 1200, сетевой кабель, высоковольтный кабель с байонетными разъемами для подключения к блоку питания и нагрузке, Техническое описание и инструкция по применению.