Вакуумные турбомолекулярные насосы НВТ-450
Вакуумные турбомолекулярные насосы НВТ-450 предназначены для откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), за исключением углеводородов, агрессивных газов, паров и их смесей, воздействующих на конструкционные материалы насосов, создания глубокого и сверхглубокого вакуума.
- физика поверхности и газовый анализ, производство электровакуумных приборов;
- течеискание, производство полупроводников;
- создание безмасляного форвакуума для электрофизических средств откачки – магниторазрядных, испарительных (геттерных) и криогенных насосов, комбинированных (ионно-геттерных) насосов, постов, агрегатов и т.д.
Насосы поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Для эксплуатации турбомолекулярного насоса НВТ-450 необходима форвакуумная система. Питание турбомолекулярных насосов осуществляется от специального блока питания (в дальнейшем – БПТ), не входящего в комплект поставки насоса.
ПРИМЕЧАНИЕ: Блоки питания турбомолекулярных насосов БПТ поставляются по отдельному заказу, совместно с насосом или отдельно. Основные технические характеристики насосов приведены в таблице ниже. Конструкция и основные размеры ответных фланцев вакуумных турбомолекулярных насосов даны в приложении. Основные характеристики блоков питания БПТ, рекомендуемых для питания насосов, приведены на странице сводных характеристик турбомолекулярных насосов.
Технические характеристики вакуумных турбомолекулярных насосов НВТ-450
Техническая характеристика |
НВТ-450 ФР |
НВТ-450 ФО |
НВТ-450 ФГ |
Быстрота действий насоса по воздуху (без защитной сетки на входе) в диапазоне давлений 1*10-2 - 1*10-4 Па, ± 20%, не менее, л/с |
400 |
400 |
400 |
Предельное остаточное давление насоса (при выпускном давлении не более 6 Па), Па |
1*10-5 |
6,5*10-6 |
6,5*10-6 |
Время разгона, мин |
10 |
10 |
10 |
Частота вращения, с-1 |
410±8 |
410±8 |
410±8 |
Общие уровни виброускорений, замеренные в горизонтальной плоскости впускного фланца насоса, в установившемся режиме, не более, дБ |
90 |
90 |
90 |
Охлаждение |
водяное |
водяное |
водяное |
Вид смазки |
консистентная |
консистентная |
консистентная |
Максимальная температура прогрева входного фланца насоса, °С |
45 |
45 |
45 |
Ответный входной (высоковакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец опорный
160 РД 11 868.006 |
Фланец с зубом 160
ОСТ 11 868.007 |
Фланец Ду-160
ГОСТ 26526 |
Ответный выпускной (форвакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Габаритные размеры, не более, мм* |
250 х 260 х 300 |
280 х 280 х 290 |
250 х 260 х 280 |
Масса, не более, кг* |
22 |
28 |
27 |
Рекомендуемый БПТ |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
Максимальная потребляемая БПТ мощность, не более, В*А |
500 |
500 |
500 |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
* размеры и масса указаны без транспортных заглушек
Наша фирма ООО "Призма" имеет возможность по ТЗ заказчика разработать и изготовить другое вакуумное оборудование по аналогии сходное с имеющимся, но с другими параметрами